粗效过滤器：用于首道过滤器 ，5μm以上的悬浮性微粒和10μm以上的沉降性微粒以及各种异物，以过滤5μm为准。中效过滤器：一般系统的最后过滤器和高效过滤器的预过滤器， 1—10μm的悬浮性微粒，它的效率即以过滤1μm为准。高中效过滤器：一般净化程度的系统的末端过滤器，保护高效过滤器的中间过滤器， 1—5μm的悬性微粒，它的效率也以过滤1μm为准。亚高效过滤器：洁净室末端过滤器，高效过滤器的预过滤器，新风的末级过滤，截留1μm以下的亚微米级的微粒，效率以0．5μm为准。高效过滤器：洁净室的最主要的末级过滤器，以实现0．5μm的各洁净度级别为目的，但其效率习惯以过滤0．3μm为准。若以过滤0．1μm为准，习惯称为超高效过滤器。

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